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Buchas isolantes (Para fonte de íons de feixe cruzado)
Sistema de controle superior, máquina de revestimento a vácuo
ANEL DE CENTRALIZAÇÃO COM ANEL EXTERNO
Conexão de alto vácuo DN 160 ISO-K Conexão de vácuo de força DN 40 KF Velocidade de bombeamento da bomba de difusão 1100 I/S Com defletor BFA... W/L 620 I/S Com defletor BFA... W/L 580 I/S Com BFA... M/MF e válvula de placa 425 I/S Para vapor de água com resfriamento LN2 2700 380V/50Hz trifásico
Taxa de fluxo de volume nominal a 50 ~ 38m3/h Taxa de fluxo de volume a 50 Hz, ~ 34m3/h Pressão máxima Parcial, sem lastro de gás <1x10-4mbar Total, sem lastro de gás <2x10-3mbar Parcial, com lastro de gás <1 x 10-3 mbar Total, com lastro de gás <2 x 10-3 mbar
Taxa de fluxo de volume nominal a 50 Hz, ~ 38m3/h Taxa de fluxo de volume a 50 Hz, ~ 34m3h Pressão máxima Parcial, sem lastro de gás <2x10-2mbar Total, sem lastro de gás <3x10-2mbar Parcial, com lastro de gás <1 mbar Total, com lastro de gás <1 mbar
-Faixa de medição: 2 x E-9 a 1 x E-2 mbar -Temperatura de cozimento: 150° C (302° F) com componentes eletrônicos removidos -Precisão: +/- 30% (de 1 x E-8 a 1 x E-3 mbar) -Reprodutibilidade: +/- 5% (De 1 x E-8 a 1 x E-3 mbar) -Saída de sinal: 0 -10.5V -Tensão de alimentação: 15 - 30VDC -FPM selado
Bolsos 04 (15 cc cada) Refrigerado a água Fonte de alimentação Classificação de potência ~ 6KW Faixa de alta tensão -6KV a -10KV Movimento da posição XY 10 mm Pressão de trabalho ~ 7 x 10-4 a 1 x 10-6 m bar
HiPace 400; DN 100 ISO-K; TC 400; DCU 400; cabo de alimentação; cabo de conexão; refrigeração a ar; Pen drive USB (software TurboViewer)
